在切削刀具上被覆TiN等硬質膜。超硬合金刀具與高速工具鋼（高速鋼）刀具的被覆方法選擇，適當者為下列何者？

正確答案：B. 超硬合金可用約1000℃熱CVD，高速鋼為免超過回火溫度（約550℃）而用約500℃以下的PVD

熱CVD是使TiCl₄、N₂、H₂等原料氣體在約1000℃反應而成膜的方法，可得到附著性好的厚膜，因此廣泛用於高溫下也不會軟化的超硬合金刀具。高速鋼是以淬火與回火得到硬度，加熱超過回火溫度就會軟化，重新淬火也會造成尺寸變化的問題。因此要在約500℃以下使用濺鍍或電弧離子鍍等PVD。即使是PVD，也能以在含氮氣氛中蒸發或濺鍍Ti的反應性成膜，製作TiN、TiAlN、CrN等化合物膜。高速鋼的二次硬化是回火溫度範圍內的現象，其耐熱性比超硬合金低，承受不了熱CVD的溫度。