材料分析(SEM、TEM、XRD、XPS)
以Al Kα射線(能量1486.6 eV)進行XPS時,量得Si 2p光電子的動能為1378.8 eV。設儀器的功函數為4.5 eV,束縛能最接近下列何者?
- A約112.3 eV
- B約107.8 eV
- C約103.3 eV
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正確答案:C. 約103.3 eV
由光電效應的能量守恆,束縛能為 E_B = hν − E_K − φ = 1486.6 − 1378.8 − 4.5 = 103.3 eV。Si 2p的束縛能在元素態Si約為99 eV,高了約4 eV的這個值是SiO₂(Si⁴⁺)的典型值,可判斷表面已被氧化。約107.8 eV 是忘了減去功函數的值,約112.3 eV 是應減去功函數卻加上的值。量測絕緣物時,帶電會使峰偏移,因此常以表面汙染碳的C 1s峰(約284.8 eV)為基準修正束縛能。