熱膨脹與熱應力計算工具

材料的溫度改變時,會與線膨脹係數 α 成正比地伸長或收縮。若能自由伸縮則不產生應力,但受到拘束時就會產生熱應力。預設值是將長1000 mm的鋼棒(α = 12×10⁻⁶ K⁻¹,E = 200 GPa)由20 ℃加熱到70 ℃的例子:自由時伸長0.60 mm,以不動的壁固定兩端時產生約120 MPa的壓縮應力。

輸入(彈性範圍內,設物性值不隨溫度改變)

結果

溫度變化 ΔT
–
自由伸長 ΔL = αLΔT
–
熱應變 αΔT
–

受拘束時的熱應力

熱應力 σ(拉伸為正)
–
應力的方向
–
|σ| 達到強度的溫度變化 ΔTc
–

αs是固定棒的框架或薄膜基板的線膨脹係數。視拘束側為足夠剛硬(不變形),熱應力以 −E(α − αs)ΔT(等雙軸再除以 (1 − ν))計算。未考慮物性值的溫度依存性,以及塑性變形或潛變造成的應力鬆弛。

熱膨脹的式子

固體在溫度上升時,原子間的平均距離變大,因此長度增加。溫度範圍不太大時,伸長與溫度變化成正比,可寫成 ΔL = αLΔT。α是線膨脹係數,鋼約為12×10⁻⁶ K⁻¹,鋁約為23×10⁻⁶ K⁻¹,矽約為2.6×10⁻⁶ K⁻¹,石英玻璃約為0.5×10⁻⁶ K⁻¹。等向性材料的體膨脹係數約為3α。原子間鍵結越強、熔點越高的材料,α有越小的傾向。

受拘束時的熱應力

將兩端以不動的壁固定的棒加熱時,想要伸長的熱應變 αΔT 會被相同大小的彈性應變抵消。因此熱應力為 σ = −EαΔT,加熱時為壓縮,冷卻時為拉伸。應力與棒的長度無關,由E與α的乘積決定。對預設值的鋼,200×10⁹ × 12×10⁻⁶ × 50 = 1.2×10⁸ Pa,約為120 MPa的壓縮。框架也會膨脹時,以差值 Δα = α − αs 代替α。

薄膜的熱應力(等雙軸)

厚基板上的薄膜,在面內2個方向同時受到拘束。在這種等雙軸狀態下使用雙軸模數 E/(1 − ν),得到 σ = −EΔαΔT/(1 − ν)。例如,將矽基板上的鋁膜(E = 70 GPa,ν = 0.35,α = 23×10⁻⁶ K⁻¹)由無應力的125 ℃冷卻至25 ℃時,產生約220 MPa的拉伸應力。膜的線膨脹係數比基板大時,冷卻後為拉伸;比基板小時為壓縮。

熱衝擊的估計

將高溫的陶瓷急冷時,只有表面先想收縮而受內部拘束,表面產生等雙軸的拉伸應力。此應力達到強度 σf 的溫差可估計為 ΔTc = σf(1 − ν)/(Eα)。彎曲強度300 MPa、E = 380 GPa、ν = 0.22、α = 8.0×10⁻⁶ K⁻¹時約為77 K。在本工具中選擇等雙軸,αs = 0,強度輸入 σf,會得到相同的值。實際上還受熱傳導與零件尺寸的影響,因此作為比較材料之間的估計使用。

練習薄膜、表面與奈米材料的題目

將矽基板(線膨脹係數2.6×10⁻⁶ K⁻¹)上的鋁膜(楊氏模數70 GPa,蒲松比0.35,線膨脹係數23×10⁻⁶ K⁻¹)由無應力的125℃冷卻至25℃。設基板足夠厚,膜中產生的熱應力 σ = EΔαΔT/(1 − ν) 的方向與大小為下列何者?

  1. A壓縮,約220 MPa
  2. B拉伸,約143 MPa
  3. C拉伸,約220 MPa
查看答案與解析

正確答案:C. 拉伸,約220 MPa

Δα = 23×10⁻⁶ − 2.6×10⁻⁶ = 20.4×10⁻⁶ K⁻¹,ΔT = 100 K,因此 σ = 70×10⁹ × 20.4×10⁻⁶ × 100/(1 − 0.35) ≈ 2.2×10⁸ Pa,約220 MPa。冷卻時鋁想要比矽收縮得更多,但受基板拘束而無法收縮,因此膜被拉伸而成為拉伸應力。認為是壓縮是方向弄錯了。約143 MPa 是忘了除以 (1 − ν) 的值。膜在面內2個方向同時受到拘束,處於雙軸應力狀態,因此必須使用雙軸模數 E/(1 − ν)。這種熱應力會成為導線應力遷移與孔洞的原因。

在矽基板上以高溫形成熱氧化膜(SiO₂,線膨脹係數約0.5×10⁻⁶ K⁻¹),再冷卻至室溫。設矽的線膨脹係數約為2.6×10⁻⁶ K⁻¹,因熱膨脹差而在氧化膜中產生的應力為下列何者?

  1. A拉伸應力
  2. B壓縮應力
  3. C不產生應力
查看答案與解析

正確答案:B. 壓縮應力

冷卻時,矽比SiO₂收縮得更多。SiO₂膜被迫收縮的量多於它本身想收縮的量,因此在面內被壓縮而成為壓縮應力。熱應力的方向可以這樣判斷:膜的線膨脹係數大於基板時,冷卻後為拉伸;小於基板時則為壓縮。與矽上的鋁膜相比,膨脹係數的大小關係相反,因此應力的方向也相反。只要膨脹係數有差異,溫度從成膜溫度改變就會產生應力,因此「不產生應力」的選項是錯誤的。熱氧化膜的壓縮應力約為數百MPa,可由晶圓翹曲的量測求得。

某陶瓷的彎曲強度為300 MPa,楊氏模數為380 GPa,蒲松比為0.22,線膨脹係數為8.0×10⁻⁶ K⁻¹。急冷熱衝擊下開始破裂的溫差標準 ΔTc = σf(1 − ν)/(Eα) 最接近下列何者?

  1. A約77 K
  2. B約99 K
  3. C約127 K
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正確答案:A. 約77 K

Eα = 380×10⁹ × 8.0×10⁻⁶ = 3.04×10⁶ Pa/K,σf(1 − ν) = 300×10⁶ × 0.78 = 2.34×10⁸ Pa,因此 ΔTc = 2.34×10⁸/(3.04×10⁶) ≈ 77 K。約99 K 是忘了乘以 (1 − ν) 的值,約127 K 是除以 (1 − ν) 的值。強度越高、楊氏模數與熱膨脹係數越小,耐熱衝擊性越大。熱膨脹係數約為0.5×10⁻⁶ K⁻¹ 而非常小的石英玻璃,是耐熱衝擊性極強的材料。熱傳導率高時表面與內部不易產生溫差,這也是有利的因素。

常見問題

熱應力會隨棒的長度改變嗎?

完全受拘束時不會改變。熱應變 αΔT 與長度無關,因此應力 EαΔT 也與長度無關。長構件的問題在於伸長量 ΔL,橋梁與鐵軌設置伸縮縫就是這個原因。

為什麼薄膜要除以 (1 − ν)?

薄膜在面內2個方向同時被阻止收縮。一個方向的應力會因蒲松效應抵消一部分垂直方向的應變,因此需要較大的應力才能抵消相同的熱應變。結果相當於彈性模數由 E 增加為 E/(1 − ν)。

計算出的應力超過降伏應力時會怎樣?

超過後彈性的式子不再成立,金屬會發生塑性變形,應力大約在降伏應力處達到上限。溫度回復時,可能殘留相反方向的殘留應力。脆性的陶瓷與玻璃,在拉伸側可能發生破裂。

相關名詞

熱應力 楊氏模數

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