Welche Aussage über Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronenbilder im REM trifft zu?

Lösung: A. Sekundärelektronen bilden vor allem die Oberflächentopografie ab, Rückstreuelektronen Unterschiede der Zusammensetzung (Ordnungszahl)

Sekundärelektronen sind niederenergetische Elektronen von höchstens 50 eV und können nur aus wenigen nm Tiefe unter der Oberfläche austreten. Sie werden daher stark von Neigung, Topografie und Kanten der Oberfläche beeinflusst und liefern Bilder der Oberflächengestalt mit räumlicher Wirkung. Rückstreuelektronen sind Primärelektronen, die an den Atomen der Probe zurückgestreut wurden; sie sind energiereich und stammen aus tieferen Bereichen. Ihre Ausbeute steigt mit der Ordnungszahl, sodass Materialkontrastbilder entstehen, in denen Bereiche schwerer Elemente hell erscheinen. Die Aussage, das Sekundärelektronenbild zeige die Ordnungszahl und das Rückstreuelektronenbild die Topografie, vertauscht die Rollen der beiden, und auch die Annahme gleicher Austrittstiefen ist falsch. In der Fehleranalyse werden beide Bilder verglichen, um Fremdpartikel und Ausscheidungen zu finden.