SEM의 2차 전자상과 후방 산란 전자상의 특징으로 옳은 것은 무엇인가?

정답: A. 2차 전자는 표면의 요철을, 후방 산란 전자는 원자 번호에 의한 조성의 차이를 잘 나타낸다

2차 전자는 에너지가 50 eV 이하인 낮은 전자로, 시료 표면에서 수 nm 정도의 깊이에서만 빠져나올 수 있습니다. 따라서 표면의 기울기와 요철, 모서리의 영향을 강하게 받아 입체감 있는 형상의 상이 됩니다. 후방 산란 전자는 입사 전자가 시료의 원자에 산란되어 되돌아온 것으로, 에너지가 높고 더 깊은 영역에서 나옵니다. 후방 산란 전자의 양은 원자 번호가 클수록 많으므로, 무거운 원소 부분이 밝게 찍히는 조성상이 얻어집니다. 2차 전자상이 원자 번호의 차이를, 후방 산란 전자상이 요철을 나타낸다는 설명은 둘의 역할이 반대이며, 탈출 깊이가 같다는 것도 틀립니다. 고장 분석에서는 두 상을 비교하여 이물이나 석출물을 찾습니다.