재료 분석(SEM·TEM·XRD·XPS)
SEM이나 EPMA에서 특성 X선을 분석하는 EDS(에너지 분산형)와 WDS(파장 분산형)의 비교로 옳은 것은 무엇인가?
- A분광 결정을 사용하지 않는 만큼 EDS 쪽이 에너지 분해능이 높아 피크의 겹침을 분리하기 쉽다
- BWDS 쪽이 에너지 분해능이 높고, EDS는 많은 원소를 동시에 짧은 시간에 측정할 수 있다
- CWDS는 분광 결정을 움직이지 않고 1개의 검출기로 모든 원소를 동시에 측정하므로 EDS보다 측정이 빠르다
정답과 해설 보기
정답: B. WDS 쪽이 에너지 분해능이 높고, EDS는 많은 원소를 동시에 짧은 시간에 측정할 수 있다
EDS는 반도체 검출기로 X선의 에너지를 직접 측정하므로 모든 원소의 피크를 동시에 짧은 시간에 얻을 수 있고, SEM에 간편하게 장착할 수 있습니다. 다만 에너지 분해능이 약 130 eV 정도로, Si Kα와 W Mα, S Kα와 Mo Lα처럼 가까운 피크를 분리하기 어려운 단점이 있습니다. WDS는 분광 결정에서의 브래그 반사로 파장을 선택하므로 분해능이 약 10 eV 정도로 한 자릿수 높고, 미량 원소의 검출이나 정량의 정밀도도 우수하지만, 분광 결정의 각도를 원소마다 주사하므로 시간이 걸립니다. EDS 쪽이 분해능이 높다는 설명과 WDS 쪽이 빠르다는 설명은 둘의 특징을 뒤바꾼 것입니다.