Welcher Vergleich von EDX (energiedispersiv) und WDX (wellenlängendispersiv) zur Analyse charakteristischer Röntgenstrahlung im REM und in der ESMA (Elektronenstrahl-Mikroanalyse) trifft zu?

Lösung: B. WDX hat die höhere Energieauflösung, während EDX viele Elemente gleichzeitig in kurzer Zeit messen kann

EDX misst die Energie der Röntgenquanten direkt mit einem Halbleiterdetektor, erfasst daher die Peaks aller Elemente gleichzeitig in kurzer Zeit und lässt sich einfach an ein REM anbauen. Die Energieauflösung beträgt jedoch nur etwa 130 eV, sodass nahe beieinanderliegende Peaks wie Si Kα und W Mα oder S Kα und Mo Lα schwer zu trennen sind. WDX wählt die Wellenlänge durch Bragg-Reflexion an Analysatorkristallen aus; seine Auflösung ist mit etwa 10 eV um eine Größenordnung besser, und es eignet sich auch besser zum Nachweis von Spurenelementen und für eine genaue Quantifizierung. Da der Winkel des Analysatorkristalls jedoch für jedes Element durchgefahren werden muss, dauert die Messung länger. Die Aussagen, EDX habe die höhere Auflösung bzw. WDX sei schneller, vertauschen die Eigenschaften der beiden.