材料分析(SEM・TEM・XRD・XPS)
SEMやEPMAで特性X線を分析するEDS(エネルギー分散型)とWDS(波長分散型)の比較として正しいものはどれか。
- A分光結晶を使わないぶんEDSのほうがエネルギー分解能が高く、ピークの重なりを分離しやすい
- BWDSのほうがエネルギー分解能が高く、EDSは多くの元素を同時に短時間で測定できる
- CWDSは分光結晶を動かさずに1つの検出器で全元素を同時に測るので、EDSより測定が速い
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正解：B. WDSのほうがエネルギー分解能が高く、EDSは多くの元素を同時に短時間で測定できる
EDSは半導体検出器でX線のエネルギーを直接測るので、すべての元素のピークを同時に短時間で取得でき、SEMに手軽に取り付けられます。ただしエネルギー分解能は約130 eV程度で、Si KαとW Mα、S KαとMo Lαのように近いピークを分離しにくい欠点があります。WDSは分光結晶でのブラッグ反射で波長を選ぶので、分解能が約10 eV程度と1桁高く、微量元素の検出や定量の精度にも優れますが、分光結晶の角度を元素ごとに走査するので時間がかかります。EDSのほうが分解能が高いとする選択肢と、WDSのほうが速いとする選択肢は、両者の特徴を入れ替えています。