SEMの二次電子像と反射電子像の特徴として正しいものはどれか。

正解：A. 二次電子は表面の凹凸を、反射電子は原子番号による組成の違いをよく表す

二次電子はエネルギーが50 eV以下の低い電子で、試料の表面から数nm程度の深さからしか出てこられません。そのため表面の傾きや凹凸、エッジの影響を強く受け、立体感のある形状の像になります。反射電子は入射電子が試料の原子で散乱されて戻ってきたもので、エネルギーが高く、より深い領域から出てきます。反射電子の量は原子番号が大きいほど多いので、重い元素の部分が明るく写る組成像が得られます。二次電子像が原子番号の違いを、反射電子像が凹凸を表すとする選択肢は両者の役割が逆で、脱出深さが同じというのも誤りです。故障解析では、両方の像を見比べて異物や析出物を探します。