SEM二次電子影像與背向散射電子影像的特徵，下列何者正確？

正確答案：A. 二次電子主要呈現表面的凹凸，背向散射電子主要呈現原子序造成的成分差異

二次電子是能量在50 eV以下的低能電子，只能從試樣表面數nm左右的深度逸出。因此強烈受到表面傾斜、凹凸與邊緣的影響，得到具立體感的形貌影像。背向散射電子是入射電子被試樣原子散射而返回者，能量高，從更深的區域射出。背向散射電子的量隨原子序增大而增多，因此可得到重元素部分較亮的成分影像。認為二次電子影像表示原子序差異、背向散射電子影像表示表面凹凸的選項，把兩者的角色弄反了，逸出深度相同也是錯誤的。在失效分析中，會比對兩種影像來尋找異物或析出物。