材料分析(SEM、TEM、XRD、XPS)
以SEM或EPMA分析特性X光的EDS（能量散布式）與WDS（波長散布式）的比較，下列何者正確？
- AEDS不使用分光晶體，因此能量解析度較高，較容易分離彼此重疊的峰
- BWDS的能量解析度較高，EDS能在短時間內同時量測許多元素
- CWDS不必移動分光晶體，以1個偵測器同時量測所有元素，因此比EDS快
查看答案與解析
正確答案：B. WDS的能量解析度較高，EDS能在短時間內同時量測許多元素
EDS以半導體偵測器直接量測X光的能量，因此能在短時間內同時取得所有元素的峰，可簡便地安裝在SEM上。但能量解析度約為130 eV左右，有難以分離 Si Kα與W Mα、S Kα與Mo Lα這類相近峰的缺點。WDS以分光晶體的布拉格反射選擇波長，因此解析度約為10 eV左右，高了1個數量級，微量元素的偵測與定量的精度也較優異，但需逐一元素掃描分光晶體的角度，因此較費時。認為EDS解析度較高的選項與認為WDS測定較快的選項，把兩者的特徵對調了。