전자선으로 여기된 특성 X선의 에너지를 반도체 검출기로 측정해 원소를 분석하는 방법. 모든 원소를 동시에 짧은 시간에 측정할 수 있지만, 분해능은 WDS보다 낮다.
일본어 명칭: EDS(エネルギー分散型X線分光法)
‘EDS(에너지 분산형 X선 분광법)’ 관련 연습 문제는 1개 분야에 3문제가 있습니다(재료 분석(SEM·TEM·XRD·XPS) 등).
이 용어의 분야: 재료 분석(SEM·TEM·XRD·XPS)
정답: B. WDS 쪽이 에너지 분해능이 높고, EDS는 많은 원소를 동시에 짧은 시간에 측정할 수 있다
EDS는 반도체 검출기로 X선의 에너지를 직접 측정하므로 모든 원소의 피크를 동시에 짧은 시간에 얻을 수 있고, SEM에 간편하게 장착할 수 있습니다. 다만 에너지 분해능이 약 130 eV 정도로, Si Kα와 W Mα, S Kα와 Mo Lα처럼 가까운 피크를 분리하기 어려운 단점이 있습니다. WDS는 분광 결정에서의 브래그 반사로 파장을 선택하므로 분해능이 약 10 eV 정도로 한 자릿수 높고, 미량 원소의 검출이나 정량의 정밀도도 우수하지만, 분광 결정의 각도를 원소마다 주사하므로 시간이 걸립니다. EDS 쪽이 분해능이 높다는 설명과 WDS 쪽이 빠르다는 설명은 둘의 특징을 뒤바꾼 것입니다.
EDS는 반도체 검출기로 X선의 에너지를 직접 측정하므로 모든 원소의 피크를 동시에 짧은 시간에 얻을 수 있고, SEM에 간편하게 장착할 수 있습니다.
SEM이나 EPMA에서 특성 X선을 분석하는 EDS(에너지 분산형)와 WDS(파장 분산형)의 비교로 옳은 …깊이 수 µm의 평균 조성을 조사하는 것은 SEM의 EDS 등의 역할입니다.
XPS(X선 광전자 분광법)의 검출 깊이와 그것으로 얻을 수 있는 정보로 옳은 것은 무엇인가?EDS의 검출 하한은 대략 0.1 wt% 정도로, 도펀트의 농도를 측정하기에는 감도가 부족합니다.
반도체의 고장 분석에서 도펀트의 깊이 방향 농도 분포를 ppm~ppb 수준의 감도로 조사하는 데 가장 적합…SEM(주사 전자 현미경) XPS(X선 광전자 분광법) SIMS(2차 이온 질량분석법) XRD(X선 회절) 브래그 법칙 셰러 식 소멸 규칙