材料分析(SEM・TEM・XRD・XPS)

Cu Kα線(波長0.15406 nm)を用いたXRDで、面間隔0.3135 nmのSi(111)面からの1次の回折ピークが現れる回折角2θはどれに最も近いか。

  1. A約14.2°
  2. B約28.4°
  3. C約58.9°
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正解:B. 約28.4°

ブラッグの法則 2d sinθ = nλ(n = 1)より、sinθ = 0.15406/(2 × 0.3135) ≈ 0.2457 で、θ ≈ 14.2°、回折角は 2θ ≈ 28.4° です。XRDの装置やデータでは、入射X線と回折X線のなす角2θを横軸にとるのが普通です。約14.2°はθをそのまま答えた誤り、約58.9°はブラッグの式の2を落として sinθ = λ/d とした誤りです。シリコン粉末の28.4°付近のピークは強くて鋭いので、回折角の校正の標準としてもよく使われます。

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