SIMS(二次イオン質量分析法)とは

正解：A. SIMS(二次イオン質量分析法)

SIMSは、O₂⁺やCs⁺などの一次イオンで試料の表面を削りながら、はじき出された二次イオンを質量分析する方法です。多くの元素をppm〜ppbの感度で、深さ方向に数nmの分解能で測定でき、シリコン中のボロン、リン、ヒ素の分布の測定の定番です。試料を削る破壊分析で、正確な定量には同じ母材の標準試料が必要です。EDSの検出下限はおおむね0.1 wt%程度で、ドーパントの濃度を測るには感度が足りません。XRDは結晶構造や格子定数を調べる方法で、微量元素の濃度分布は測れません。