薄膜、表面與奈米材料

以三選一題型學習表面能、均質與異質成核及臨界核半徑、薄膜的成長模式、膜的熱應力,以及比表面積與量子尺寸效應等奈米材料的特徵。

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熱膨脹與熱應力 →

薄膜、表面與奈米材料的重點

表面與界面的原子失去了部分鍵結,因此具有額外的能量(表面能、界面能)。新相成核時,體積自由能的降低與界面能的增加互相競爭,只有超過臨界核半徑 r* = −2γ/ΔGv 的核才會成長。在基板或器壁上的異質成核,能量障壁較小。

薄膜依表面能的平衡與晶格不匹配,以層狀、島狀,或先層狀後島狀的模式成長。與基板熱膨脹的差異會產生 σ = EΔαΔT/(1 − ν) 的熱應力,成為翹曲、剝離與導線不良的原因。將粒子縮小到奈米尺寸,比表面積增加,量子尺寸效應與奧斯華熟化也會變得明顯。

薄膜、表面與奈米材料的題目列表(12題)

  1. 關於金屬晶體表面能的敘述,下列何者正確?
  2. 在均質成核中,設形成半徑r的球狀核時的自由能變化為 ΔG = (4/3)πr³ΔGv + 4πr²γ。界面能 γ = 0.10 J/m²、單位體積的自由能變化 ΔGv = −2.0×10⁸ J/m³ 時,臨界核半徑 r* 最接近下列何者?
  3. 在異質成核中,設核與基板的接觸角為θ,形成臨界核所需的能量為均質成核的 f(θ) = (2 + cosθ)(1 − cosθ)²/4 倍。θ = 60° 時 f(θ) 最接近下列何者?
  4. 在相同過冷度下比較時,異質成核臨界核的曲率半徑與均質成核的臨界核半徑相比會如何?
  5. 在薄膜的成長模式中,關於Stranski-Krastanov(SK)成長的敘述,下列何者正確?
  6. 設基板的表面能為γs,膜的表面能為γf,膜與基板的界面能為γi。容易發生島狀(Volmer-Weber)成長的條件為下列何者?
  7. 將矽基板(線膨脹係數2.6×10⁻⁶ K⁻¹)上的鋁膜(楊氏模數70 GPa,蒲松比0.35,線膨脹係數23×10⁻⁶ K⁻¹)由無應力的125℃冷卻至25℃。設基板足夠厚,膜中產生的熱應力 σ = EΔαΔT/(1 − ν) 的方向與大小為下列何者?
  8. 在矽基板上以高溫形成熱氧化膜(SiO₂,線膨脹係數約0.5×10⁻⁶ K⁻¹),再冷卻至室溫。設矽的線膨脹係數約為2.6×10⁻⁶ K⁻¹,因熱膨脹差而在氧化膜中產生的應力為下列何者?
  9. 將球狀粒子的直徑由1 µm縮小到10 nm時,單位體積的表面積(比表面積)變為幾倍?
  10. 縮小CdSe等半導體奈米晶體(量子點)的粒徑時,發光的顏色會如何改變?
  11. 在高真空(例如10⁻⁴ Pa左右)下進行真空蒸鍍的主要理由,下列何者正確?
  12. 將母相中分散著大小不同析出物粒子的合金在高溫下長時間保持時,所發生的奧斯華熟化(Ostwald ripening),下列敘述何者正確?

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