固體因加熱而膨脹(發生熱膨脹)的主要原因為下列何者?
- A原子間位能不對稱(非簡諧),振動振幅變大時原子間的平均距離增加
- B原子間位能為拋物線形(簡諧),振動振幅與原子間平均距離都隨溫度變大
- C溫度升高時,原子本身的大小變大
溫度改變時材料會伸長或收縮,這種伸縮若受到阻止,就會產生熱應力。本頁可以選擇材料,計算從自由膨脹、各種拘束方式的應力、板或圓筒內部溫差造成的應力、兩種材料的接合(雙金屬片、薄膜、銲料),到急冷時會破裂的溫差,以及熱套配合與玻璃封接的膨脹匹配。預設值是將結構鋼棒的兩端固定,由20 ℃加熱到70 ℃的例子,會產生約130 MPa的壓縮應力。
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材料的數值為代表值。實際數值會隨成分、加工與溫度而變,設計時請輸入該材料資料中的數值。計算限於彈性範圍,未考慮塑性變形或潛變造成的應力鬆弛。
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原子之間的位能在互相靠近時急遽升高,遠離時則緩慢上升,呈左右不對稱的形狀。溫度升高、原子的振動變大時,原子會往緩慢的一側(較遠的一側)擺得更大,因此平均原子間距離變長,這就是熱膨脹。如果位能是完美的拋物線(簡諧振動),振動變大時平均位置也不會改變,就不會發生熱膨脹。依Grüneisen關係,體膨脹係數與定容比熱成正比,因此在低溫下會與比熱一樣急遽變小。資料庫中銅的值(NMIJ的認證值)在20 K為0.28×10⁻⁶ K⁻¹,100 K為10.5×10⁻⁶ K⁻¹,300 K為16.7×10⁻⁶ K⁻¹。矽在約120 K以下 α 為負(80 K附近約為 −0.47×10⁻⁶ K⁻¹),冷卻時反而伸長。這是因為晶格振動中有體積增加時振動頻率升高(Grüneisen常數為負)的模態。
鍵結越強、位能井越深的材料,在相同溫度下原子間距離的伸長越小,熔點也有越高的傾向。室溫附近的 α 為鎢4.5、鐵11.8、銅16.5、鋁23.1、鉛28.9(×10⁻⁶ K⁻¹),熔點越高的金屬越小。共價鍵的陶瓷較小(氮化矽2.8、碳化矽3.7,為40〜400 ℃的平均),分子鏈之間以微弱作用力結合的高分子則大到60〜200。石英玻璃小到0.5,是因為SiO₄四面體的網絡可以改變鍵結的方向來吸收伸長。因瓦合金(Fe-36Ni)由磁性造成的體積膨脹(磁體積效應)會隨溫度升高而變小,抵消一般的熱膨脹,因此在居里溫度(約279 ℃)以下 α 小到1〜2。也有 α 隨晶體方向或纖維方向而不同的材料,印刷電路板(FR-4系)的面內為13〜14,厚度方向為45×10⁻⁶ K⁻¹(Tg 以下),差異很大。
α 會隨溫度改變,因此需要確認資料中的值是哪一種意義。瞬時 α 是該溫度下的伸長率 (1/L)(dL/dT)。平均 α 是由基準溫度(20 ℃或25 ℃)到某溫度的伸長除以溫差的值,製造商資料表中「30〜400 ℃」這類值就屬於這一種。長度變化為 ΔL = L·∫α dT,α 為定值時 ΔL = αLΔT。本頁將瞬時 α 的表以梯形法積分,將平均 α 的表換算成各點的熱應變再連接起來。例如氧化鋁在20 ℃的瞬時 α 為5.4,在827 ℃為9.4×10⁻⁶ K⁻¹,變化很大。等向性材料的面積變化為 (1 + ε)² − 1 ≈ 2ε,體積變化為 (1 + ε)³ − 1 ≈ 3ε,體膨脹係數約為 3α。
若能自由伸長,物體只會伸長熱應變 αΔT 而不產生應力。伸長受到阻止時,會產生恰好抵消熱應變的彈性應變,這就是熱應力。以不動的壁固定兩端的棒為 σ = −EαΔT(加熱時為壓縮)。拘束面內兩個方向的板或基板上的薄膜,一個方向的應力會因蒲松效應抵消另一個方向的一部分應變,因此要阻止相同的應變需要更大的應力,成為 σ = −EαΔT/(1 − ν)。三個方向都受拘束時,應力為靜水壓 σ = −EαΔT/(1 − 2ν),在 ν 接近0.5的材料中會變得非常大。拘束側也會伸縮時(框架為不同材料),以 α − αs 代替 α;拘束像彈簧一樣較弱時,棒與彈簧串聯,應力變為 η = 1/(1 + EA/(kL)) 倍。完全受拘束時,熱應力與長度無關。長度決定的是伸長量,這就是鐵路與橋梁要設置伸縮間隙(伸縮縫)的原因。
即使沒有受到外部拘束,零件內部若有溫差,熱的部分會被冷的部分阻止伸長而產生應力。厚度方向為直線溫度分布的板,若板緣自由則不產生應力,只會以曲率 κ = αΔT/h 均勻翹曲。若阻止翹曲使其保持平坦,表面會產生 ±EαΔT/(2(1 − ν)) 的應力,熱的一面為壓縮,冷的一面為拉伸。非直線的溫度分布(急冷過程中等)下,即使是自由的板也會殘留應力。內外有溫差的長空心圓筒(穩態熱傳導下溫度為 ln r 的一次式),可以用Timoshenko & Goodier的公式求得應力;內側較熱時,內表面的環向與軸向都是壓縮,外表面為拉伸。薄的圓筒表面應力會接近 ±EαΔT/(2(1 − ν))。這是造成熱交換器管、爐與引擎零件破裂或疲勞的應力。
將線膨脹係數不同的兩片帶材貼合並升高溫度時,會以膨脹較大的一側位於外側(凸面)的方式均勻彎曲(冷卻時方向相反)。Timoshenko(1925)由兩層的力與力矩平衡求得曲率 1/ρ = 6(α2 − α1)ΔT(1 + m)²/(h[3(1 + m)² + (1 + mn)(m² + 1/(mn))])(m 為厚度比 t1/t2,n 為彈性模數比 E1/E2,h 為總厚度)。厚度相同、彈性模數相同時 1/ρ = 3ΔαΔT/(2h)。總厚度固定時,曲率在厚度比 m = 1/√n 時最大,厚度相同時彈性模數比的影響很小。曲率與 ΔαΔT 成正比,與厚度成反比,因此帶材越薄越容易彎曲。雙金屬片用於恆溫開關、溫度計與電路的斷路器,膨脹較小的一側常使用因瓦合金等。
在高溫下成膜後冷卻到室溫,膜中會殘留相當於膜與基板膨脹差的雙軸應力。基板足夠厚時 σf = Ef/(1 − νf)·(αs − αf)ΔT(ΔT = 室溫 − 成膜溫度),膜的 α 較大時(Si上的Al)冷卻後為拉伸,較小時(Si上的SiO₂)為壓縮。膜應力會使基板翹曲,其曲率可以用Stoney公式 κ = 6σf·tf/(Ms·ts²) 表示(Ms = Es/(1 − νs) 為基板的雙軸模數)。此公式不含膜的彈性模數,因此只要以雷射量測成膜前後的晶圓翹曲,不必知道膜的性質也能求得膜應力。這是半導體製程中量測膜應力的標準方法。Si (100) 晶圓的雙軸模數約為180 GPa,與 (100) 面內的 E(130 GPa)或 ν(0.28)是不同的量。膜變厚時(tf/ts 超過數 %),與雙層公式的差會變大。
元件(陶瓷或矽)與印刷電路板(FR-4系,面內約13×10⁻⁶ K⁻¹)的膨脹差,在每次溫度升降時都會使銲點橫向錯動。距中心(不動點)LD 處的錯動量為 LD·|Δα|·ΔT,高度 h 的銲料的剪應變為 Δγ ≈ F·LD·|Δα|·ΔT/h。越是大型元件的角落、銲料越低,應變越大,壽命越短。Engelmaier根據共晶SnPb銲料的疲勞試驗,以Coffin-Manson型的 Nf = ½(Δγ/(2εf′))^(1/c) 提出壽命的估計(εf′ = 0.325,c 是由平均溫度與循環頻率決定的負數)。此公式是基於SnPb試驗的經驗式,不能直接用於無鉛銲料、以底部填充膠補強的接點,或以引腳彎曲吸收應變的元件。請作為比較用的估計值。
將熱的物體急速冷卻時,只有表面先要收縮,卻受到內部阻止,因此表面產生拉伸應力。表面瞬間冷卻且完全受拘束時的應力為 EαΔT/(1 − ν),因此破裂的溫差為 R = σf(1 − ν)/(Eα)(Kingery 1955的第一熱衝擊阻抗參數)。實際上表面的冷卻方式由熱傳決定,Biot數 β = ah/κ(a 為板厚的一半,h 為熱傳係數)小時應力也變小。Manson(1953)對無限大平板,將最大應力的比例近似為 1/(1.5 + 3.25/β − 0.5e^(−16/β))。β 大時 ΔTc → R,β 小時 ΔTc ≈ 3.25R′/(ah),由考慮熱導率的 R′ = Rκ 決定。熔融石英的 α 非常小,因此 R 大;鈉鈣玻璃的 α 大且強度低,因此 R 小。氮化矽強度高、α 小,在陶瓷中是特別耐熱衝擊的材料。冷卻時表面為拉伸,加熱時表面為壓縮,而脆性材料耐壓縮,因此急冷比較容易破裂。
熱套配合是加熱孔側的零件使孔擴大,插入軸後冷卻,以干涉量產生的壓力固定的方法。所需的溫差為 (δ + c)/(αd),δ 為干涉量,c 為插入所需的間隙。冷卻軸使其收縮的冷套配合則使用液態氮(−196 ℃)。接觸面的壓力由厚壁圓筒的Lamé公式求得,外側零件的孔面產生環向拉伸應力 p(D² + d²)/(D² − d²)。組合不同材料的零件時,干涉量會在使用溫度下改變。將鋁零件熱套在鋼軸上時,溫度升高後鋁擴張得較多,干涉量會減少。間隙也一樣,像鋁活塞與鑄鐵汽缸這種 α 不同的組合,要預先考慮變熱時的間隙來決定尺寸。
在熔融玻璃與金屬接合的封接中,從玻璃固化的溫度(以應變點或 Tg 為參考)到室溫的收縮差會直接成為應力。玻璃不耐拉伸,因此要盡量使兩者的膨脹一致(匹配封接),不一致的部分則讓玻璃略呈壓縮(壓縮封接)。科伐合金(Fe-29Ni-17Co)在ASTM F15中規定30〜400 ℃的平均 α 為4.60〜5.20×10⁻⁶ K⁻¹,與 α 約為5的封接用硬質(硼矽酸)玻璃匹配。即使同為硼矽酸玻璃,與BOROFLOAT 33(3.25)的差也很大,因此玻璃的選擇很重要。鉑(8.8)與鈉鈣玻璃(9.0)是數值接近的組合。因瓦合金與科伐合金的 α 小是由於磁體積效應,超過居里溫度(因瓦合金約279 ℃,科伐合金約435 ℃)後 α 會變大。封接時必須連同這個轉折,在整個溫度範圍內匹配。
長50 m的鋼橋梁,溫度變化60 K時會伸縮 12×10⁻⁶ × 50 m × 60 K = 36 mm,因此以伸縮縫吸收這個變位。無縫的長焊鋼軌則固定鋼軌阻止伸長,並在設計中承受產生的軸力(需注意高溫時的挫曲)。在半導體封裝中,矽晶片(約2.6)、封裝樹脂、銅導線架(約17)與基板的膨脹差,會造成翹曲,以及銲料或黏著界面的剝離。窗玻璃在日照使中央變熱、背陰的邊緣仍然冷時,邊緣會受到拉伸而可能破裂(熱破裂),製造商會標示容許溫差(BOROFLOAT 33依條件為80〜175 K)。在引擎中,鋁活塞與鑄鐵或鋼零件的膨脹差、排氣系統的熱應力,以及渦輪葉片上熱障塗層與金屬的膨脹差,都是設計時要處理的剝離原因。
這裡的公式全部限於彈性範圍。熱應力超過降伏應力時金屬會塑性變形,溫度恢復後會殘留方向相反的殘留應力。高溫下(高於熔點絕對溫度的約0.4倍)潛變會使應力鬆弛,因此長時間保持時,應力會比計算值小。E、降伏應力與熱導率也會隨溫度改變,本頁只考慮 α 的溫度相依性。跨越性質急遽變化之溫度的計算,例如鋼的相變態(約750〜860 ℃)、氧化鋯的相變態、高分子的玻璃轉移,不能直接使用。複合材料、單晶與軋延材的 α 與 E 隨方向而不同(異向性),而本頁大多數的公式以等向性材料為前提。陶瓷與玻璃的強度離散很大(韋伯分布),零件越大、傷痕越深強度越低,因此熱衝擊的 ΔTc 只是估計值。
對薄膜或面內受拘束的板忘了除以 (1 − ν),會把應力低估約3成。應力的方向只要想「若沒有拘束會往哪邊動」就不會弄錯(加熱時阻止伸長為壓縮,冷卻時阻止收縮為拉伸)。混用平均 α 與瞬時 α,或混用基準溫度不同的平均 α,在寬廣的溫度範圍內會造成不可忽略的差異。在熱衝擊的 R 中使用彎曲強度,對大型零件會高估強度。在Stoney公式中直接代入基板的 E 是錯誤的,要使用雙軸模數 E/(1 − ν)(Si (100) 約為180 GPa)。GPa 與 10⁻⁶ 相乘時,記住 200 GPa × 12×10⁻⁶ K⁻¹ = 2.4 MPa/K,就容易確認數量級。
純金屬的 α、ν 與熱導率取自彙整CRC Handbook等數值的表(25 ℃附近),E 與密度與本站材料用週期表的值相同。溫度相依數據為Al(Hidnert 1924的公式,20〜600 ℃)、結構鋼(EN 1993-1-2的公式,20〜1200 ℃)、Cu(NMIJ CRM 5805-a,20〜300 K)、Si(Swenson 1983的推薦值,100〜800 K)、氧化鋁(NMIJ CRM 5801-a,293〜1100 K)、石英玻璃(NMIJ CRM 5802-a,293〜800 K),以及因瓦合金與科伐合金(製造商的平均 α 表)。陶瓷為京瓷的資料表,玻璃為ISO 16293-1、SCHOTT與Corning的資料,FR-4系為Isola 370HR資料表的值。高分子與CFRP、GFRP是與選材圖(Ashby的表)相同範圍的幾何平均,資料中沒有 ν,因此留白。數值的一覽在「材料資料庫」分頁中。
正確答案:C. 拉伸,約220 MPa
Δα = 23×10⁻⁶ − 2.6×10⁻⁶ = 20.4×10⁻⁶ K⁻¹,ΔT = 100 K,因此 σ = 70×10⁹ × 20.4×10⁻⁶ × 100/(1 − 0.35) ≈ 2.2×10⁸ Pa,約220 MPa。冷卻時鋁想要比矽收縮得更多,但受基板拘束而無法收縮,因此膜被拉伸而成為拉伸應力。認為是壓縮是方向弄錯了。約143 MPa 是忘了除以 (1 − ν) 的值。膜在面內2個方向同時受到拘束,處於雙軸應力狀態,因此必須使用雙軸模數 E/(1 − ν)。這種熱應力會成為導線應力遷移與孔洞的原因。
完全受拘束時不會改變。熱應變 αΔT 與長度無關,因此應力 EαΔT 也與長度無關。隨長度改變的是伸長量 ΔL = αLΔT,構件越長,需要的伸縮間隙越大。對有間隙的壁或以彈簧部分拘束的情形,長度會影響拘束程度,因此應力也會改變。
因為面內兩個方向同時受到拘束。x 方向的應力會因蒲松效應抵消 y 方向的一部分應變,因此要抵消兩個方向的熱應變,需要比單軸時更大的應力。結果相當於彈性模數由 E 增加為 E/(1 − ν)(雙軸模數)。ν = 0.3 時約為1.43倍。
想想若沒有拘束會往哪邊動。加熱時伸長受到阻止為壓縮,冷卻時收縮受到阻止為拉伸。兩種材料時,膨脹較大的一側冷卻後為拉伸,較小的一側為壓縮。矽上的鋁膜冷卻後為拉伸,矽上的熱氧化膜為壓縮。
依材料與溫度範圍而定。鋁在20 ℃約為23,在500 ℃約為32×10⁻⁶ K⁻¹(Hidnert公式的微分),因此計算加熱到500 ℃時若使用室溫的 α,會把伸長量低估1成以上。因瓦合金在超過居里溫度後 α 會變為數倍,矽在低溫下則為負。在本頁選擇「使用溫度相依性」時,有數據的材料會以其曲線計算,並可在圖上比較與不使用時的差異。
膜遠薄於基板時,決定翹曲的只有膜力 σf·tf(每單位寬度)與基板的抗彎能力。膜有多硬會影響膜應力的大小,但不影響由應力換算成曲率的過程。因此只要量測成膜前後的晶圓曲率,不必知道膜的彈性模數也能求得膜應力。膜變厚時,膜本身的彎曲剛性會產生影響,而偏離此公式。
曲率與膨脹差 Δα 及溫差成正比,與總厚度成反比。總厚度固定時,曲率在厚度比 m = 1/√n(n 為彈性模數比)時最大;厚度相同、彈性模數相同時 1/ρ = 3ΔαΔT/(2h)。膨脹較小的一側使用因瓦合金這類低膨脹合金,可以加大 Δα。
急速冷卻(熱傳大)的條件下選 R = σf(1 − ν)/(Eα) 大的材料,熱傳緩和的條件下選乘上熱導率的 R′ = Rκ 大的材料。強度高、α 與 E 小較有利,代表例是熔融石英與氮化矽。屬於哪一種條件,以Biot數 β = ah/κ 判斷。
是使孔擴大「干涉量 δ 加上插入所需間隙 c」的溫度。α 為定值時 ΔT = (δ + c)/(αd),直徑50 mm的鋼、干涉量50 µm、間隙20 µm時,需要加熱約117 K(由20 ℃到約137 ℃)。加熱過度會改變材料的熱處理狀態,因此也請確認資料中的上限溫度。
因瓦合金(Fe-36Ni)是使室溫附近的 α 非常小(1〜2×10⁻⁶ K⁻¹)的合金,用於精密量測儀器、模具與雙金屬片的低膨脹側。科伐合金(Fe-29Ni-17Co)是使 α 與硼矽酸系硬質玻璃匹配的封接用合金,30〜400 ℃的平均 α 約為5×10⁻⁶ K⁻¹。兩者在超過居里溫度後 α 都會變大。
材料的數值為代表值,會隨成分、加工與溫度而變。可以用來確認觀念或估計數量級,但設計時請輸入所用材料的資料表或規格中的數值。計算限於彈性範圍,未考慮塑性或潛變造成的應力鬆弛,以及零件形狀造成的應力集中。
彈性常數的關係與廣義虎克定律 熱膨脹 拘束造成的熱應力 基板上薄膜的熱應力 Stoney 公式 組合棒(連接2根棒時)的熱應力 雙金屬片的曲率(Timoshenko) 熱衝擊阻抗 熱套配合的壓力(Lamé 公式)